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1、樣品直徑：Φ≤90mm；

2、樣品厚度：≤20mm；

3、樣品平移：XY移動范圍為25mm*25mm，移動精度可達1um；

4、掃描范圍：XY最大掃描范圍20um*20um，Z最大掃描范圍2.5um；

5、掃描角度：0.6Hz~30Hz，掃描角度0~360°，可進行任意角度掃描；

6、掃描速率：支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速；

7、工作模式：接觸模式AFM、動態(tài)力模式(DAFM)、F-Z力曲線測量模式、RMS-Z曲線測量模式；

8、減震方式：采用彈簧懸掛式的減震方式，RMS噪音水平<0.05nm；

9、電源：220VAC/50Hz，500W；

10、機器重量：120kg；

11、機器尺寸：D480mmx W420mmxH730mm。