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1、適用晶圓尺寸：8吋及以下；

2、勻膠轉速范圍：100 轉/分 ~ 12000轉/分可調；

3、勻膠時間范圍：1秒 ~ 3000秒可調；

4、轉速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5、膠的不均勻性：≤±1%；

6、轉速調節(jié)形式：加減速度可調，可設多種程序控制；

7、機器控制模塊：4.3寸全彩色觸摸屏顯示、燈光閃爍、聲光報警；

8、真空輸入要求：0.07MPa，真空流量≥12L/min；

9、機器其他配置：自帶收液瓶、自帶排風設計；

10、電源：AC220V/50Hz，400W；

11、機器外形尺寸：W312mm×H368mm×D355mm。